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長期收購ICKMN0505DT-UFz1-SA
發布時間: 2024-05-19 10:20 更新時間: 2024-11-01 08:04
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三星電子和英特爾等半導體公司正在研究定向自組裝 (DSA) 技術,以補償極紫外 (EUV) 工藝過程中出現的圖案錯誤。DSA是下一代圖案化技術之一,這一技術有望補充 EUV 過程中出現的隨機誤差。隨機是指隨機且非重復的圖案錯誤,已知占 EUV 圖案錯誤的 50%。業界預測,DSA技術將從使用High-NA EUV的1.4nm工藝和10nm以下的DRAM工藝開始正式引入。英特爾代工旗下邏輯技術開發部門光刻、硬件和解決方案主管Mark Philip日前表示,“使用 DSA(高數值孔徑 EUV)的研究正在進行中,通過應用 DSA,我們正在改進模式粗糙度(LER)?!庇⑻貭栐诮诎l表的論文中表示,其將 DSA 技術應用于 18nm 以下工藝,并成功糾正了 EUV 圖案中發生的隨機誤差。

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”事故在慘痛,教訓卻不一定深刻,因為我們總是習慣把別人的事故只是當成“故事”或笑話,一笑而過,或許是我們的通病,“一地出事故、全國受警示”似乎是美好的夢想和期望。其實不然。查閱近年和電工作業息息相關的幾起案例,突然發現交通安全風險就在電工作業身邊:2015年8月汛期,某水電站駕駛員在電站鄉村公路行駛中,因雨天路滑,下坡時不注意控制車速,在濕滑路面上錯誤采取緊急制動,致使車輛滑出路面。車輛翻下約5m深的溝箐,駕駛員跳車逃生,人員受輕微傷。
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