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三星電子和英特爾等半導體公司正在研究定向自組裝 (DSA) 技術，以補償極紫外 (EUV) 工藝過程中出現的圖案錯誤。DSA是下一代圖案化技術之一，這一技術有望補充 EUV 過程中出現的隨機誤差。隨機是指隨機且非重復的圖案錯誤，已知占 EUV 圖案錯誤的 50%。業界預測，DSA技術將從使用High-NA EUV的1.4nm工藝和10nm以下的DRAM工藝開始正式引入。英特爾代工旗下邏輯技術開發部門光刻、硬件和解決方案主管Mark Philip日前表示，“使用 DSA（高數值孔徑 EUV）的研究正在進行中，通過應用 DSA，我們正在改進模式粗糙度（LER）?！庇⑻貭栐诮诎l表的論文中表示，其將 DSA 技術應用于 18nm 以下工藝，并成功糾正了 EUV 圖案中發生的隨機誤差。

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注意事項電氣設備安裝需要做好嚴密監控，配電箱安裝一定要高標準、高質量，配電箱事關整個配電系統的正常運轉，而且配電箱是線路非常復雜、設備Zui多的電器設施，一定要做好對配電箱的質量檢測和綜合管理。Zui為重要的就是施工人員的技術水平和專業應用能力，一方面對技術人員做好考核確；另一方面還應該及時做好培訓，讓他們熟悉各種電氣設備知識，在安裝過程中能夠確保質量，嚴格的按照圖紙安裝，嚴格的按照說明調試，確保電氣設備的安裝合乎程序，保障安裝質量。
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